Exactitude | +/-10nm |
Champ de vision, mm | 0,25х0,54 |
Type | Non-contact |
Déplacement le long de l'axe Z, mm | 50 |
Ruch wzdłuż osi X, mm | 88 |
Ruch wzdłuż osi Y, mm | 40 |
Exactitude | +/-10nm |
Champ de vision, mm | 0,25х0,54 |
Type | Non-contact |
Déplacement le long de l'axe Z, mm | 50 |
Ruch wzdłuż osi X, mm | 88 |
Ruch wzdłuż osi Y, mm | 40 |