Angle d’inclinaison de la section de jambe, deg | 45 |
Distance de fonctionnement, mm | 17 |
Mouvement du lit horizontal: plage de balayage (mm) | 12 |
Temps de cycle, s | 100 |
Résolution latérale, μ | 20 |
Résolution axiale, μ | 2.6µm |
Angle d’inclinaison de la section de jambe, deg | 45 |
Distance de fonctionnement, mm | 17 |
Mouvement du lit horizontal: plage de balayage (mm) | 12 |
Temps de cycle, s | 100 |
Résolution latérale, μ | 20 |
Résolution axiale, μ | 2.6µm |
